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彩神ⅴ8

混合氣

準分子激光氣體

彩神ⅴ8

準分子激光氣體

產品描述

一、產品名稱

產品名稱：準分子激光氣

其他名稱：氟化氬激光氣體（193nm）；氟化氪激光氣體（248nm）；氯化氙激光氣體（308nm）

二、產品簡介

分子式：ArF、KrF、XeCl

UN NO：UN 1956

產品純度：99.9999％

三、包裝說明

鋼瓶容積： 11L，16L，20L，49L，50L

閥門型號：CGA679，DIN 8，DIN 14

四、產品指標

高功率準分子激光氣體

可用波長 193 nm ArF

248 nm KrF

308 nm XeCl

450nm~520nm XeF

最大紫外功率 540 W

最大紫外能量 1100 mj

重復頻率可變， 1~600 Hz

脈沖穩定性 0.5%~1%，rms

長期漂移 0.1%~0.5%，rms

光束分布均勻，平頂

脈沖寬度 10~20 ns

相關氣體純度 F2, 99.9%

Ar, 99.9999%

He, 99.9999%

Ne, 99.9999%

HCl, 電子級

Kr, 99.999%

Xe, 99.999%

O2, 99.999%

H2, 99.999%

氣體工作溫度 - 40 0C ~ + 74 0C

氣體壓力 520 psig ~ 2400 psig / 35 Bar ~ 167 Bar

鋼瓶規格 10L、16L、20L、50L

閥門接口 CGA 679、CGA 330、CGA 580、DIN 6、DIN 8、DIN 14

五、包裝規格

序號	產品	彩神ⅴ8 狀態（氣象或液相）	容器（L或m3）	工作壓力（MPa）	容器高度（不包括瓶閥、瓶帽）mm	容器空重（不含瓶閥、瓶帽）kg	充裝量（壓力或重量）MPa或kg	彩神ⅴ8 供應模式	品牌
1	準分子激光氣體	氣態	4L（Φ140）	15MPa	395	7.1	彩神ⅴ8 10-15MPa	采用鋼瓶或鋁合金氣瓶供應	奔逸
2	準分子激光氣體	氣態	彩神ⅴ8 8L（Φ140）	彩神ⅴ8 15MPa	680	彩神ⅴ8 11.5	10-15MPa
3	準分子激光氣體	氣態	10L（Φ159）	15MPa	671	彩神ⅴ8 13.5	彩神ⅴ8 10-15MPa
4	彩神ⅴ8 準分子激光氣體	氣態	15L（Φ159）	15MPa	956	19	10-15MPa
5	準分子激光氣體	氣態	彩神ⅴ8 20L（Φ219）	15MPa	715	23	10-15MPa
6	準分子激光氣體	氣態	彩神ⅴ8 40L（Φ219）	15MPa	1315	48	彩神ⅴ8 10-15MPa
7	彩神ⅴ8 準分子激光氣體	氣態	彩神ⅴ8 50L（Φ219）	15MPa	1510	66	彩神ⅴ8 10-15MPa
8	備注	因容器設計壓力等差異，以上數據略有出入，請知悉。詳情請聯系40009 63336或18563963366。

六、準分子激光氣應用

工業技術的升級轉型需要平衡日益增長的性能需求與加工速度及制造成本之間的矛盾。準分子激光的誕生，以其高光子能量所稱著，在對突破材料限制需求越來越迫切的時代，準分子激光器再次站在了尖端工業激光解決方案的最前沿。作為當今最有效、最可靠的脈沖紫外激光技術的代表，準分子激光器有效地推進了諸如半導體、AMOLED平板顯示、薄膜、硅底板加工、有機金屬沉淀、高溫超導、刻蝕、材料研究、汽車制造、生物醫療、光纖、鉆石打標設備及可替代能源等多種成長型工業中的技術革新。

七、注意事項

準分子激光氣體為高壓充裝氣體，使用時應經減壓降壓后方可使用。包裝的氣瓶上均有使用的年限，凡到期的氣瓶必須送往有部門進行安全檢驗，方能繼續使用。每瓶氣體在使用到尾氣時，應保留瓶內余壓在0.5MPa，最小不得低于0.25MPa余壓，應將瓶閥關閉，以保證氣體質量和使用安全。瓶裝氣體產品在運輸儲存、使用時都應分類堆放，嚴禁可燃氣體與助燃氣體堆放在一起，不準靠近明火和熱源，應做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊，嚴禁在氣瓶身上進行引弧或電弧，嚴禁野蠻裝卸。

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